お問い合わせ先

株式会社ユーテック 本社

株式会社ユーテック 流山工場

お問い合わせ

受託成膜のご相談

トップページ > 技術紹介 > FUBUKI®:パーティクル除去

FUBUKI®:パーティクル除去

CO₂スプレーによるパーティクル除去の原理

昇華しようとするCO₂の急冷却効果 + 断熱膨張効果 => 下記2つの洗浄効果が発現。

  • 個体CO₂粒子の衝突による物理的ブラスト効果を利用した異物除去
  • 液体CO₂粒子の化学的特性(一部分化) を利用した有機物除去

当社独自のCO₂ラバールジェット・スプレーノズル

原料となる液化炭酸ガスを当社独自開発のノズルを用い高速噴射させることで、CO₂超微粒子を発生させ、基板表面のバリや無機/有機汚れを洗浄いたします。
ノズル内部のオリフィス部には硬度・潤滑性に長けた特性を持つ当社プラズマCVD-DLCによるコーティングを行い、基板汚染原因となる金属パーティクルの発生を防ぐ構造を採用しております(特許申請中)。

また、CO₂ラバールジェットスプレーノズルは、その特殊なノズル構造を生かし、ノズル・キャビティ容量とオリフィスの組合せを変えることにより、CO₂密度,流速 など、お客様のデバイスに最適なCO₂条件へのカスタマイズも可能です。

CO₂粒径分布制御データ

2um粒径コントロールと、5um以上粒径へのCO₂粒径制御実施例。

CO₂粒速度制御データ

各種ノズルによるCO₂粒子速度のコントロールが可能です。

CO₂流速分布データ(ワイドノズル)

広範囲ワーク向けワイドノズルを用いた際の流速制御例。
経時変化は見られず、125±25 m/sのCO₂一定流速にて制御されている。

このページの上部へ