事業概要

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事業内容
  • 超薄膜DLC対応プラズマCVD装置の製造・販売
  • その他CVD装置、スパッタ、エッチャー、アッシャーの製造・販売
  • プラズマによる新化学物質を生成する装置の製造及び研究
  • 輸入装置の販売
特徴 真空装置の研究・開発サポート志向の真空装置メーカー
改造・改善 改善・改良の提案と改造の実施
研究用装置 ユーザーコンセプトを理解し、プロセス・材料・現象に合致したカスタムメイド対応で装置を提案・製造
量産用装置
  • 実験・検証・試作を経て量産装置の供給と技術サポート
  • 国内・海外共にサポート実施

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