製品の特徴

• 複合材料用の加圧RTA装置です。
• 特に薄膜複合セラミクス材料のアニールプロセスに特化したシステム構成となっております。

アプリケーション

• 電子部品・MEMS/光学デバイスのセラミクス材料のアニール