製品の特徴

• (独)Plasus社製「Plasma Emission Monitor / Controller」です。
• プラズマ薄膜形成プロセスの分析・InStuが可能です。
• フィードバック制御ソフトや、60万種類の豊富なデータベースを搭載しております。

アプリケーション

• 電子部品・MEMS/光学デバイスのプラズマプロセス