製品の特徴

• 平行平板型のプラズマエッチング・アッシング・クリーニング装置です。
• Si基板・ガラス基板・フィルム基板へのプラズマ処理や表面改質が可能です。

オプション

• 除害設備

アプリケーション

• 電子部品・MEMS等各種デバイスへの薄膜形成