製品の特徴

• EL発光素子形成用途の蒸着装置です。
• コンパクトなチャンバ設計により、実験用途に最適です。
• 300mm基盤対応

オプション

• 簡易封止設備
• CVD室
• スパッタ室
• グローブボックス
• 除外設備

アプリケーション

• 電子部品・MEMS等各種デバイスへの薄膜形成