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装置紹介

CO₂洗浄機:FUBUKI

名称 CO₂洗浄機:FUBUKI
カテゴリー CO₂洗浄

当社はCO₂スプレー洗浄プロセスを極めます。お客様の洗浄ニーズに合わせた、最適なCO₂スプレー洗浄装置をご提案いたします...[続きを読む

成膜装置1/【超薄膜系】DISC GUN, PET、バレルなど 【薄膜系】BiG CUBE、金型など

名称 成膜装置1/【超薄膜系】DISC GUN, PET、バレルなど 【薄膜系】BiG CUBE、金型など
カテゴリー DLC

現在の当社DLC事業の原点となりました、イオン化蒸着法によるDLC成膜ユニットです。この成膜ユニットでは、オングストロームオーダー(10-10m)での原子層膜厚制御技術を軸とし、平均表面粗さRa:数A以下を実現いたしました「超薄膜DLC」の成膜に特化しております...[続きを読む

成膜装置2/【特注関係】スパッタ・CVD・蒸着装置、デスクトップエッチャー、EL、RTAなど

名称 成膜装置2/【特注関係】スパッタ・CVD・蒸着装置、デスクトップエッチャー、EL、RTAなど
カテゴリー CVD

2周波の独立印可方式を採用した、平行平板型の2周波PE-CVD装置です。本装置ではスマートな電極構造と2周波独立印可方式を採用することにより、優れた膜厚分布、再現性を達成しております。またパーティクル低減に配慮した電極ユニットや特殊表面処理...[続きを読む

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