製品の特徴

• ニューデザインの真空プラズマ処理システムです。
• 超小型サイズで、φ300mmサイズの機材まで処理可能です。
• エッチング・アッシング・表面改質に最適です。

オプション

• 除害設備

アプリケーション

• 電子部品のプラズマ処理
• ウエハ・ガラス基板・フィルム基板へのプラズマ処理