製品の特徴

• 有機ソースを利用した、電子部品向けのDLC薄膜形成装置です。
• 当社独自のプラズマ源を採用し、高硬度のDLC薄膜形成が可能です。
• 成膜プロセスの低温下を実現しました。

アプリケーション

• 電子部品・MEMS等へのバリア膜形成
• 光学デバイスや自動車部品への高硬度絶縁膜形成

その他

• 薄膜特性
• 電気絶縁性
• 機械特性
• バリア性

デバイス特性に応じご提供しております。
お気軽にお問い合わせください。