製品の特徴

• 有機シリコンソースを採用しており、デバイスに合わせて材料を選択することが可能です。
• 当社独自のプラズマ源を採用し、低温プロセス化においても、高密度の薄膜形成が可能です。

オプション

• 除害設備
• プラズマエミッションモーター

アプリケーション

• 樹脂フィルム・薄膜金属フィルム上への絶縁膜形成

その他

有機シラン系材料を使用することにより、酸化物や窒化物への対応をしております。

• 薄膜特性
• 電気絶縁性
• 機械特性
• バリア性

デバイス特性に応じご提供しております。
お気軽にお問い合わせください。