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資料希望製品必須 SiO2/SiN/SiONプラズマCVD装置
フィルム基板用プラズマCVD装置
DLCプラズマCVD装置
溶液気化CVD装置

有機EL蒸着装置
クラスタタイプ蒸着装置

電子デバイス用スパッタリング装置
スパッタリング装置
複合金属材料形成スパッタリング装置

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