製品概要

CVD装置

SiO2/SiN/SiONプラズマCVD装置、フィルム基板用プラズマCVD装置、DLCプラズマCVD装置、溶液気化CVD装置[詳細はこちら

CVD装置

蒸着装置

有機EL蒸着装置、クラスタタイプ真空蒸着装置[詳細はこちら

蒸着装置

スパッタリング装置

電子デバイス用リアクティブスパッタリング装置、光学薄膜形成用リアクティブスパッタリング装置、実験用スパッタリング装置、複合金属材料形成スパッタリング装置[詳細はこちら

スパッタリング装置

デスクトップシリーズ

デスクトップシリーズ[詳細はこちら

デスクトップシリーズ

その他の真空関連装置

プラズマ処理装置、プラズマ発光モニターEMICON、複合材料用RTA装置、真空乾燥装置[詳細はこちら

その他の真空関連装置